實驗設備介電陶瓷專題研究室

介電陶瓷專題研究室

英文名稱:Dielectric Ceramics Laboratory
實驗室位置:TB806-2
負責教師:戴國圓




實驗室目的

研製壓電薄膜、透明導電膜、光電膜材料、奈米晶矽材料、微波介電材料與元件製備等



實驗項目

真空系統、薄膜濺鍍、濺鍍靶製作、氣體放電、半導體薄膜材料、金屬沉積、微波介電材料分析



主要設備

設備名稱 數量
磁控電漿鍍膜系統 1
RO純水機 1
超純水機 1
積分球 1
數位顯微鏡 1
排煙櫃 1
數字型溫度表(含K Type探棒) 1
高溫爐  1
高溫氣氛爐 1
多功能電子天平 1
簡式球模攪拌器 1
數字型磁石加熱攪拌器 1
熱風循環烘箱CDV-452 1
雙面定時曝光機 1


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